故事会网

手机浏览器扫描二维码访问

第八百九十三章 朝闻道(第1页)

“光刻机的定位分辨率一般来说,比制程分辨率会高一到两代。”

“我们新科目前采用的芯片制程是0.35微米技术,定位分辨率则能够达到0.25微米水平。”

“按照正常的研发序列,我们接下来五年时间里会陆续开发出0.18和0.13微米级别的定位分辨率技术。”

“受限于我们目前的技术水平,到2004年我们最多可以把定位分辨率推进到90纳米。”

送走了林千军,王中军在实验室的闭门小会里露出了一脸愁容。

大家打完了鸡血,热情却不能直接变成科研成果,而科学技术又从来不以人的意志为转移。

所以在说到具体问题的时候,该掉头发还是要掉头发的。

“情况就是这么个情况,我们现在能够做到0.25微米已经是为了追赶国际先进水平,付出极大压力之后的成果了。”

“可是如果要满足有关单位的需求,我们的纳米光栅必须达到100纳米的分辨率。这已经不是亚微米技术,而是微纳米的范畴了。也就是说,我们需要跨越至少五年时间的技术发展,将定位分辨率提前推到100纳米。”

王中军说到这里不由皱起眉头,手摸着烟盒却没有打开:“都说说吧,有什么思路没有?”

下面实验室里的研究员们面面相觑,跟着一起犯起了难。

“继续采用化学蚀刻法怎么样?如同通过多次曝光的技术……”

“不行的,化学蚀刻法的各向异性太差了。即使是重复曝光蚀刻,也会导致两侧侵蚀,精度必然达不到100纳米的要求。”

纳米光栅的制作技术,其实和制作芯片差不多,一样是通过在硅片上涂抹光刻胶,然后反复曝光、蚀刻,最后形成符合精度要求的光栅。不过目前业界通常采用的化学蚀刻方法,却在微纳米级条件下并不适用了。

化学蚀刻法用通俗的话来说,就是在晶圆上涂布光刻胶,然后通过曝光去除光刻胶,再用腐蚀性材料对暴露出来的硅片进行腐蚀,最后形成集成电路需要的结构。

但这也有一个问题,湿法化学蚀刻用的蚀刻液在蚀刻中,各向异性的不佳会导致在光刻胶覆盖下的晶圆同样也有一部分被侵蚀了。反过来说,就是湿法化学蚀刻的各向同性性能很好,不仅能向下侵蚀,同样也能向左右侵蚀。

这样一来,对精度要求高的情况下,这种技术显然就天然不适用了。

第一个提议被毙了,这无疑让其他人谨慎了许多。原本还想开口的人,脸上也皱起了眉头。

“100纳米的测量能力,美国人有没有?他们是怎么实现的?”

“怎么没有?没有这个能力,哈勃望远镜怎么上天?劳伦斯实验室的光学加工设备有10纳米的精度、1纳米的定位分辨率,早就走到我们的终点线了。”

“1纳米的精度啊,他们是怎么实现的!”下面小声讨论的人,听到自己竞争对手的成绩,甚至都要忍不住要赞叹出来。

劳伦斯利弗莫尔实验室的光学车床,可以说是全世界加工精度最高的设备了。早在八十年代,在开发哈勃望远镜的过程中,美国空军就掌握了100纳米精度、80厘米直径的超精密大型球面的加工能力,为后来的一系列锁眼卫星扫平了最大的障碍。

“怎么实现的?砸钱呗,为了减弱地震波对设备的影响,在整个实验室的地基上配了减震,这种事情咱们连想都不敢想吧?”

“怎么不敢想?”

谁也没想到,一直在前面默不作声的王中军,竟然突然说了一句话。

“不就是钱吗?如果给房子装减震就能提升加工精度,那我们干嘛不这么做?”

“给房子装减震……很费钱的吗?”

王中军这话一说出来,下面人竟然稍微安静了片刻,然后纷纷深吸了一口气。

是啊……新科差钱吗?

下面这些研究员的思维,主要还是没放开。一方面是之前的工作都是按部就班,主要方向就是挖掘现有技术的极限。从湿法蚀刻向干法蚀刻转变,或者再远点就考虑等离子刻蚀,这已经是业界最新动态了。

另一个人难免受社会环境影响,这种付出极大成本去减少很微弱误差的投入产出比,总感觉未免有些败家了。

虽然王中军的实验室每年的科研经费都不缺,可花钱毕竟也是需要想象力的。51

“当然,给房子装减震暂时还不到这一步。”

侠道三国  伪钞帝国  叶辰萧初然最新章节更新  出来修仙要讲背景,你哪道上的?陈道道爷  萌宝助攻:霸道爹地宠又撩  龙傲小说  晨唐旧梦  捡个小娇妻,你却告诉我是女帝?叶尘千羽静  都市仙尊归来莫海(莫海谢雨桐)  我真没想过妻子是女帝啊  至尊邪天  我的美综世界  我所在之地,便是江湖  我的时空之门  一人之万法道祖  穿越者  我真的是守法公民  诸天:开局变成黑眼僵尸龙傲  我的邻居是女妖  喜剧大爆炸  

热门小说推荐
潜龙

潜龙

6远本是一个普通的学生,但有一天,他忽然成了龙,从此之后,他就开始牛逼起来本书已经上架,求订阅求评论求互动求推荐票求金钻求收藏!给我几分钟,让我们一起见证一个高中生的传奇!各位书友要是觉得潜龙还不错的话请不要忘记向您...

天美地艳男人是山

天美地艳男人是山

从农村考入大学的庾明毕业后因为成了老厂长的乘龙快婿,后随老厂长进京,成为中央某部后备干部,并被下派到蓟原市任市长。然而,官运亨通的他因为妻子的奸情发生了婚变,蓟原市急欲接班当权的少壮派势力以为他没有了后台,便扯住其年轻恋爱时与恋人的越轨行为作文章,将其赶下台,多亏老省长爱惜人才,推荐其参加跨国合资公司总裁竞聘,才东山再起然而,仕途一旦顺风,官运一发不可收拾由于庾明联合地方政府开展棚户区改造工程受到了中央领导和老百姓的赞誉。在省代会上,他又被推举到了省长的重要岗位。一介平民跃升为省长...

校园逍遥高手

校园逍遥高手

高手从来都是寂寞的,可是我却想做一个逍遥高手京城世家子弟楚修为了逃避家族逼婚,远走他乡,哪里想到却因此卷入了更多的桃花之中各色美女与他纠缠不清,就连那霸道的未婚妻也是不远千里追来面对这等桃色劫难,楚修只有一个念头我想回家!各位书友要是觉得校园逍遥高手还不错的话请不要忘记向您...

【修真】男人就是鼎炉

【修真】男人就是鼎炉

前世黑莲花白蓁被人在车上动了手脚车祸去世,穿越成了合欢宗女修白千羽,开启了和前世开后宫没什么不同的修仙之路。这篇算是某某宗女修炼手札的同人,但是是否玩游戏对看文没啥影响,文不会收费,大家放心追,女主是自设的无心海王型号。挂是挂了修真的名头,其实本文没有着重写女主初期修炼,主要还是着重她成为女王之后的故事。全文分三部分,第一二部分女主一边双修一边把以前给她使绊子的人给除了,手段稍微有点粗暴残忍,结果奇奇怪怪自称系统的东西出现了,告诉她,她已成为了这条世界线的主人,同时她设计把自己也拱成了修真大陆的无冕之王。第三部分开幕,无冕之王并不是这么好当的,一边要均衡各大势力,挑对自己有用的掌握在手里,一边要处理情人们的修罗场。。。。偶尔,系统还会给她出难题,让她暴打外来入侵者。然而白蓁(千羽)对此表示,挺好玩的,再来点。本文可能微微有点女尊倾向,女主床上小淫娃,床下真女王,没心没肺,快乐加倍。有疑似正宫,但是基本不会出现1v1的情况,女主这么强,配一个男的太亏了(啥?)。预警,女主从目前的伦理道德来讲,确实是渣女,而且吸溜子也没想洗。...

每日热搜小说推荐